Singulus Technologies: Vakuum-Beschichtungsanlage für Wika
Singulus Technologies stattet Wika Alexander Wiegand mit einer Generis PECVD-Inline Anlage zur Abscheidung elektrischer Isolations- und Passivierungsschichten aus. Die hochmoderne Plasmatechnologie wird gezielt für Anwendungen im Bereich der Sensorik eingesetzt.
Die Wika Alexander Wiegand SE & Co. KG, Klingenberg, ist ein weltweit führendes Unternehmen in der Druck- und Temperaturmesstechnik. Mit der PECVD-Technologie (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition = Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) von Singulus lassen sich qualitativ hochwertige, dünne Schichten im Inline-Verfahren aufbringen. Besonders bei hochpräzisen Sensorbauelementen trägt die Abscheidung elektrisch isolierender und schützender Schichten maßgeblich zur Leistungssteigerung und Langlebigkeit bei.
Bei der Generis PECVD setzt Singulus auf bewährte eigens entwickelte induktiv gekoppelte lineare Plasmaquellen (ICP). Dieses Verfahren zeichnet sich durch eine hohe Elektronen- und Aktivierungsdichte bei gleichzeitig niedriger Ionenenergie aus. Es ermöglicht sehr hohe Abscheideraten über große Substratbreiten, wobei insbesondere die Kombination aus linearer Plasmaquelle und Inline-Verfahren ein hohes Maß an Skalierbarkeit unter Beibehaltung von außergewöhnlichen Schichtqualitäten bietet – bei breiten Prozessfenstern, minimaler Substratschädigung und geringem CO2 Footprint. Die Generis PECVD-Technologie erfüllt damit höchste Anforderungen an Effizienz und Präzision und bietet ideale Voraussetzungen für anspruchsvolle Märkte wie die Halbleiterindustrie, Medizintechnik, Automobilindustrie und die industrielle Messtechnik.