Auger-Elektronen-Spektrometrie (AES)

Auger-Elektronen-Spektrometrie (AES) ist eine Oberflächenanalysetechnik, die in der Materialwissenschaft und Oberflächenchemie weit verbreitet ist. Diese Methode ermöglicht die Untersuchung der chemischen Zusammensetzung von Oberflächen auf atomarer Ebene. Bei der Auger-Elektronen-Spektrometrie werden die charakteristischen Auger-Elektronen gemessen, die bei der Entstehung von Löchern in den inneren Elektronenschalen eines Atoms auftreten.

Die AES eignet sich besonders für die Analyse von dünnen Schichten und Oberflächen, da sie hochauflösende Informationen über die Elementzusammensetzung liefert. Diese Technik ermöglicht es, die Oberflächenzusammensetzung von Materialien zu identifizieren und zu quantifizieren, wodurch Einblicke in die chemischen Prozesse und Eigenschaften auf atomarer Ebene gewonnen werden können.

In der Forschung und Industrie findet die Auger-Elektronen-Spektrometrie Anwendung in verschiedenen Bereichen, darunter Materialwissenschaft, Halbleitertechnologie, Oberflächenbeschichtungen und Nanotechnologie. Durch die präzise Analyse von Oberflächen ermöglicht die AES die Optimierung von Materialien und Prozessen in zahlreichen Anwendungen, von der Entwicklung von Halbleiterbauelementen bis hin zur Charakterisierung von dünnen Schichten in der Oberflächentechnik.