Activated Reactive Evaporation (ARE)

Activated Reactive Evaporation (ARE) ist ein fortschrittliches Verfahren in der Oberflächentechnik und Dünnschichttechnologie. Bei diesem Prozess wird eine dünne Schicht eines bestimmten Materials auf einer Substratoberfläche durch Verdampfen eines Ausgangsmaterials und chemische Reaktionen während des Abscheidungsprozesses erzeugt.

Der Prozess beginnt mit der Verdampfung des Ausgangsmaterials, typischerweise in einer Vakuumkammer, die erhitzt wird, um das Material in den gasförmigen Zustand zu überführen. Während des Verdampfungsprozesses werden reaktive Gase wie Sauerstoff, Stickstoff oder Wasserstoff in die Kammer eingeführt. Diese Gase reagieren dann mit den verdampften Atomen oder Molekülen, was zur Bildung der gewünschten Beschichtung führt.

Durch die Verwendung reaktiver Gase können Schichten mit spezifischen Eigenschaften erzeugt werden, wie z. B. Oxidationen, Nitrierungen oder Carbide. Diese Schichten können verschiedene funktionale, optische oder mechanische Eigenschaften aufweisen, je nach den Anforderungen der Anwendung. Beispiele hierfür sind verbesserte Verschleißfestigkeit, Korrosionsbeständigkeit oder elektrische Leitfähigkeit.

Die präzise Kontrolle der Prozessparameter wie Verdampfungstemperatur, Vakuumdruck und Gaszusammensetzung ist entscheidend für die Qualität und die gewünschten Eigenschaften der abgeschiedenen Schicht. ARE ermöglicht die Herstellung hochwertiger Beschichtungen für eine Vielzahl von Anwendungen, darunter optische Beschichtungen, Schutzbeschichtungen, Barrierebeschichtungen und mehr.