Von Ardenne nimmt neues Beschichtungsgerät im Reinraum in Betrieb
Von Adrenne nimmt sein neues Beschichtungsgerät, die Opta X300, in seinem kürzlich eröffneten Reinraum in Deutschland in Betrieb. Damit wird die Herstellung hochpräziser Schichten und Mehrschichtstapel für Halbleiter- und optische Anwendungen ermöglicht.
Von Ardenne, Anbieter von Präzisionsbeschichtungssystemen und gemeinsam entwickelten Materiallösungen, nimmt sein neues Beschichtungsgerät Opta X300 in seinem kürzlich eröffneten Reinraum der Klasse ISO 5 in Dresden in Betrieb. „Während die Halbleiterindustrie die Grenzen von Leistung und Miniaturisierung immer weiter verschiebt, betritt Von Ardenne den US-Markt mit Anlagenplattformen der nächsten Generation, gemeinsam entwickelten Materiallösungen sowie maßgeschneiderten Überholungs- und Aufrüstungsdienstleistungen“, sagte Guido Ueberreiter, Vice President of Semiconductor Strategy bei Von Ardenne, bei der Produkteinführung auf der Semicon West im September letzten Jahres. „Unser Ansatz ermöglicht es Halbleiterherstellern, komplexe Herausforderungen bei der Abscheidung und im Vakuumbereich zu meistern, insbesondere dort, wo ältere Anlagen an ihre Grenzen stoßen oder Standardlösungen den neuen Anforderungen nicht gerecht werden. Unsere Opta X300-Plattform wurde speziell für die hochpräzise beidseitige Abscheidung entwickelt, um auch die anspruchsvollsten Mehrschichtanwendungen zu unterstützen.“
Neues Beschichtungssystem im Von Ardenne Reinraum
Von Ardenne brachte im Jahr 2025 sein Rotationsbeschichtungssystem Opta X300 auf den Markt. Es ist die Flaggschiff-Plattform des Unternehmens für die subnanometergenaue Abscheidung auf anspruchsvollen Substraten. Die Opta X300-Plattform wird im neuen ISO-5-Reinraum von Von Ardenne in Dresden installiert, der als Eckpfeiler des Technologie- und Anwendungszentrums des Unternehmens dient. Diese Einrichtung ermöglicht es Kunden, Beschichtungsprozesse zu testen, zu beproben und gemeinsam zu entwickeln, wobei sie auf branchenführendes Know-how in den Bereichen Ingenieurwesen und Materialwissenschaften zurückgreifen können. Der neue Reinraum in Dresden umfasst 200 m² Montage- und Testbereiche der Klasse ISO 5 (Klasse 100) mit Kontrolle der molekularen Luftverunreinigung (AMC) sowie 400 m² Fertigungsfläche der Klasse ISO 7. Der Reinraum ist für Halbleiter-, Optik- und Raumfahrtanwendungen ausgelegt und für die Extrem-Ultraviolett-Technologie (EUV) vorbereitet. Der Opta X300 wird ab Mitte 2026 für Kundendemonstrationen und gemeinsame Entwicklungsprojekte zur Verfügung stehen.
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