Fraunhofer IST: Plasmasimulation als Schlüssel für industrielle Prozesse

Wie lassen sich Beschichtungs- und Ätzprozesse effizienter, robuster und datengetriebener gestalten? Diese Frage stand im Mittelpunkt des Industrieworkshops »Plasma Process Simulation Tools for Industrial Coating and Etching Systems – Latest Developments and Future Trends« des Fraunhofer IST.
Knapp 60 Teilnehmende aus zwölf Ländern nutzten den Workshop »Plasma Process Simulation Tools for Industrial Coating and Etching Systems – Latest Developments and Future Trends«, den das Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST am 28. und 29. Januar 2026 gemeinsam mit Boltzplatz und PlasmaSolve in Braunschweig ausrichtete, um sich über den aktuellen Stand und die zukünftige Rolle der Plasmaprozesssimulation auszutauschen. Im Fokus standen praxisnahe Lösungen, die Simulation, Datenintegration und industrielle Umsetzung miteinander verbinden. Der erste Workshoptag zeigte, wie simulationsbasierte Ansätze bereits heute zur Optimierung industrieller Prozesse beitragen und bot den Teilnehmenden neben Fachvorträgen und Produktpräsentationen viel Raum für intensiven Austausch und Networking. Referentinnen und Referenten aus Universitäten, Industrieunternehmen und Forschungseinrichtungen beleuchteten in ihren Vorträgen unter anderem datenintegrierte Modellierung, digitale Zwillinge für Dünnschichtprozesse, die simulationsgestützte Optimierung industrieller Beschichtungsanlagen sowie den Einsatz moderner Simulationswerkzeuge in realen Entwicklungsumgebungen. Für das Fraunhofer IST stellte Dr. Dennis Barton dar, wie simulationsbasierte Modelle genutzt werden können, um industrielle Sputterprozesse realitätsnah abzubilden und digitale Zwillinge für die Optimierung von Beschichtungsanlagen einzusetzen.
Simulationen für industrielle Plasma- und Beschichtungsprozesse
Am zweiten Workshoptag stand die praktische Anwendung im Mittelpunkt. In Live-Demonstrationen und Hands-on-Sessions konnten die Teilnehmenden unterschiedliche Simulationssoftware direkt erproben. Vorgestellt wurden unter anderem Open-Source-Plasmasimulationstools, Softwareplattformen für Simulation, Data Mining und Machine Learning sowie Frameworks zur Schichtprofilvorhersage. Der Workshop dokumentiert das große Potenzial simulationsbasierter Ansätze für die Weiterentwicklung industrieller Plasma- und Beschichtungsprozesse. Gleichzeitig wurde deutlich, wie wichtig der enge Austausch zwischen Forschung, Softwareentwicklung und Anwendern ist, um dieses Potenzial künftig auszuschöpfen.
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