Massenspektrometer

Ein Massenspektrometer ist ein analytisches Instrument, das in der Oberflächentechnik eingesetzt wird, um die chemische Zusammensetzung von Materialien präzise zu bestimmen.

Dabei werden Atome oder Moleküle aus der Probenoberfläche freigesetzt, ionisiert und nach ihrem Masse-zu-Ladung-Verhältnis getrennt. Diese Methode ermöglicht es, selbst geringste Mengen an Elementen oder Verbindungen nachzuweisen und liefert wichtige Informationen über die Zusammensetzung, Reinheit und Struktur von Beschichtungen, Schichten und Substraten. In der Oberflächentechnik dient die Massenspektrometrie unter anderem der Qualitätskontrolle, der Untersuchung von Schichtdicken oder der Analyse von Verunreinigungen. Auch Prozesse wie die Tiefeprofilanalyse profitieren von dieser Technologie, da sie Veränderungen der Materialzusammensetzung über die Schicht hinweg sichtbar macht. Die hohe Empfindlichkeit und Genauigkeit machen das Massenspektrometer zu einem unverzichtbaren Werkzeug für Forschung, Entwicklung und industrielle Anwendungen im Bereich der Oberflächenanalytik.