Kompositgalvanoformung

Die Kompositgalvanoformung ist ein spezialisiertes Fertigungsverfahren, das in der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik verwendet wird. Dieser Prozess ermöglicht die präzise Herstellung von Mikrostrukturen und Mikrokomponenten auf kleinen Skalen und ist besonders nützlich in der Herstellung von Mikrooptiken, Sensoren und anderen hochpräzisen Bauteilen.

Die Kompositgalvanoformung kombiniert Galvanisieren und die Verwendung von photoresistiven Mustern, um dreidimensionale Mikrostrukturen auf Substraten zu erzeugen. Der Prozess besteht aus mehreren Schritten:

1. Substratvorbereitung: Zuerst wird das Substrat vorbereitet, auf dem die Mikrostrukturen hergestellt werden sollen. Dieses Substrat kann aus verschiedenen Materialien bestehen, darunter Silizium, Glas oder Kunststoff.

2. Aufbringen des photoresistiven Musters: Ein photoresistives Material wird auf das Substrat aufgetragen. Dieses Material ist lichtempfindlich und kann durch Belichtung mit UV-Licht geformt werden. Ein Maskenmuster wird über dem photoresistiven Material platziert, und UV-Licht wird durch die Maske auf den photoresistiven Film übertragen. Dieser Schritt definiert das gewünschte Muster.

3. Galvanisieren: Nach der Belichtung wird das Substrat in eine Elektrolytlösung getaucht, und das Galvanisieren beginnt. In diesem Schritt wird das gewünschte Material (z. B. Metall) aus der Elektrolytlösung auf das Substrat abgeschieden. Die zuvor belichteten Bereiche des photoresistiven Materials wirken als Masken und verhindern, dass das Material an diesen Stellen abgelagert wird. Das unbelichtete Material wird abgelagert und bildet die gewünschten Mikrostrukturen.

4. Entfernen des photoresistiven Materials: Nach Abschluss des Galvanisierungsprozesses wird das restliche photoresistive Material entfernt, um die freigelegten Mikrostrukturen freizulegen.

Die Kompositgalvanoformung ermöglicht die Herstellung von komplexen Mikrostrukturen mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit. Sie findet Anwendung in Bereichen wie der Mikrooptik, Mikrofluidik, Sensortechnologie und MEMS (Mikroelektromechanische Systeme), bei denen die Fertigung von präzisen Mikrokomponenten und -strukturen von entscheidender Bedeutung ist.