Micro-Epsilon: Konfokaler 3D-Sensor misst anspruchsvolle Oberflächen

Mit dem konfokal-chromatischen Liniensensor ConfocalLine CLI8500 schlägt Micro-Epsilon ein neues Kapitel in der 3D-Messtechnik auf: höchste Präzision, außergewöhnlich hohe Punktdichte und beeindruckende Dynamik in einem kompakten System. Mit 2.624 Messpunkten pro Profil und einer Z-Auflösung von 0,2 µm erfasst der ConfocalLine CLI8500 selbst feinste Strukturen zuverlässig und detailgenau. Große Verkippungswinkel erweitern zusätzlich die Einsatzmöglichkeiten bei komplexen Geometrien und anspruchsvollen Oberflächen. Das konfokal-chromatische Messprinzip ermöglicht präzise Messungen auf matten, hochreflektierenden und transparenten Oberflächen. Da ausschließlich die fokussierte Wellenlänge ausgewertet wird, bleiben die Messergebnisse weitgehend unabhängig von Materialfarbe und Oberflächenbeschaffenheit. Dadurch eröffnet der ConfocalLine CLI8500 vielfältige Einsatzmöglichkeiten von der Halbleiterindustrie über die Elektronik- und Batterieproduktion bis hin zum Maschinenbau und zur Medizintechnik. Damit verbindet die neue Sensorreihe höchste Präzision mit der Geschwindigkeit und Flexibilität moderner industrieller 3D-Messtechnik.

3D-Messtechnik der nächsten Generation

Als kompaktester konfokal-chromatischer Liniensensor seiner Klasse bietet der CLI8500 trotz geringer Baugröße einen großen Messbereich von 7 mm. Die Datenauswertung erfolgt direkt im Sensor und reduziert dadurch Systemaufwand und Datenlast. Im SMART-Betrieb werden Messprogramme direkt auf dem Sensor gespeichert und autonom ausgeführt, sodass fertige Messergebnisse ohne zusätzlichen Auswerterechner ausgegeben werden können. Schnittstellen wie Profinet, EtherCAT, EtherNet/IP sowie GenICam und GigE Vision unterstützen die flexible Einbindung in Automatisierungs- und Bildverarbeitungssysteme. Mit einer Z-Auflösung von 0,2 µm erfasst der CLI8500 feinste Strukturen, schmale Kanten und kleinste Stufen zuverlässig. Gleichzeitig erreicht der Sensor eine Messfrequenz von bis zu 2 kHz über den vollen nutzbaren Messbereich. Der große Verkippungswinkel von bis zu ±80° entlang der Linie ermöglicht zudem stabile Messungen auf geneigten oder komplex geformten Bauteilen.