EFDS-Workshop Charakterisierung in der Dünnschichttechnik

Präzise Charakterisierungsmethoden sind der Schlüssel zur Entwicklung, Bewertung und Qualitätskontrolle funktionaler Dünnschichtsysteme. Gerade im industriellen Maßstab gewinnen robuste, automatisierbare und inline-fähige Verfahren zunehmend an Bedeutung. Zugleich steigt der Bedarf an aussagekräftigen und quantitativen Daten für Forschung, Simulation und Prozessregelung – häufig bis in den Nanometerbereich. Der EFDS-Workshop Charakterisierung in der Dünnschichttechnik richtet sich an Fachleute aus Forschung, Industrie und Messtechnikentwicklung, die sich mit modernen Charakterisierungsmethoden für Dünnschichtsysteme befassen – sowohl in der Grundlagenforschung als auch in der Anwendungstechnik. Im Zentrum stehen Fragestellungen rund um Auswahl, Integration und Weiterentwicklung geeigneter Messverfahren zur Bestimmung physikalischer, chemischer, mechanischer und funktioneller Schichteigenschaften. 

Breites Vortragsprogramm des Workshop Charakterisierung in der Dünnschichttechnik

Den Auftakt bildet ein Überblicksvortrag von Nazlim Bagcivan (Schaeffler Technologies AG & Co. KG), die die Rolle der Charakterisierung in der Großserienproduktion beleuchtet. Thomas Chudoba (ASMEC) stellt unter dem Titel „Nanoindentation 2.0“ aktuelle Entwicklungen in der instrumentierten Eindringprüfung vor. Dietmar Schorr (Steinbeis-Zentrum Tribologie Oberflächenanalyse und Materialprüfung) beleuchtet den erfolgreichen Transfer analytischer Methoden vom Labor in die Serienfertigung und gibt praxisnahe Einblicke, welche Kennwerte im realen Einsatz entscheidend sind. Ergänzt wird das Thema durch Susanne Friedrich (Institut für Korrosionsschutz Dresden GmbH IKS), die auf spezielle Anforderungen bei der Charakterisierung von Dünnschichtsystemen für den Korrosionsschutz eingeht – ein Bereich, der oft stark anwendungsgetrieben ist. Dr. Michael Tkadletz (Montanuniversität Leoben) zeigt, wie sich atomsondentomographische Verfahren zur hochauflösenden Analyse komplexer Mikrostrukturen einsetzen lassen, insbesondere bei strukturierten Oberflächen. Stefan Makowski (Fraunhofer IWS) stellt mit der laserakustischen Oberflächenwellen-Spektroskopie (LAwave) ein kontaktloses, zerstörungsfreies Verfahren vor, das für industrielle Echtzeitanwendungen zunehmend relevant wird.

Zwei Workshoptage mit großer thematischer Breite

Der zweite Workshoptag setzt die thematische Breite fort und startet mit einem Beitrag von Paul Mayrhofer (TU Wien), der sich mit Micropillar Testing beschäftigt. Thomas Schütte (PLASUS GmbH) beleuchtet die Prozessüberwachung in der Dünnschichttechnik und diskutiert den Weg von klassischer Messtechnik hin zu KI-gestützten Strategien. Wulf Grählert (DIVE) stellt den Einsatz von Hyperspektralanalyse zur flächigen Inspektion von Schichtsystemen vor. Einen praxisnahen Einblick in Laserultraschallverfahren bietet Mike Hettich (RECENDT), der zeigt, wie sich zerstörungsfreie Prüfmethoden auch in komplexen Geometrien und bei hohen Anforderungen an Messgeschwindigkeit und Genauigkeit einsetzen lassen. Im abschließenden Themenblock steht die Integration von Digitalisierung, Simulation und künstlicher Intelligenz im Mittelpunkt. Hartmut Enkisch (Carl Zeiss) beleuchtet Charakterisierungsansätze für anspruchsvolle Schichtsysteme in der EUV-Lithografie. Peter Gumbsch (Fraunhofer IWM) zeigt auf, wie sich durch simulationsgestützte Entwicklung anwendungsspezifische Schichtsysteme gezielt optimieren lassen – unter Einbindung von Modellen zur Versagens- und Lebensdauervorhersage. Dr. Patrick Kraus-Füreder (RISC Software GmbH) geht schließlich auf datengetriebene KI-Modelle ein. Abgerundet wird das Programm durch ergänzende Fachbeiträge unter anderem von Fraunhofer IKTS, ICS Innovative Coating Solutions und Chipmetrics GmbH. Weitere Informationen zum Programm sowie zur Anmeldung finden sich online beim EFDS.