Busch Group mit gemeinsamen Messeauftritt auf der Semicon West

Die drei Unternehmen der Busch Group (Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum und Centrotherm Clean Solutions) stellen gemeinsam auf der Messe Semicon West 2024 aus. Es ist der erste gemeinsame Messeauftritt der Busch Group in den USA.
Die Busch Group präsentiert auf der Semicon West Vakuumtechnologie und Abgasreinigungssysteme, die zur Unterstützung der Halbleiter-Fabs und Sub-Fabs dienen. Die diesjährige Standbotschaft der Busch Group lautet „Ultimate Product Range“ und „Total Fab Solutions“. Turgay Ozan, Geschäftsführer von Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum in den USA, erläutert: „Wir sind als führender Partner für Komplettlösungen in der Halbleiterindustrie einzigartig aufgestellt. Unsere umfangreiche Produktpalette bietet Unterstützung von Reinräumen bis zur Sub-Fab. Sie umfasst Abgasreinigungssysteme, Vakuumpumpen, Kontaminationsmanagement, Lecksuche, Ventile, Sub-Fab Management und den Service für alle Marken.“ Zum Produktportfolio für Vakuumtechnologie und Abgasreinigungslösungen auf der Messe gehört u.a. der Lecksucher ASM 392: Der ASM 392 von Pfeiffer Vacuum ist Semi-S2-konform. Mit seiner integrierten Turbomolekular-Vakuumpumpe für schnelle Evakuierung und kurze Ansprechzeiten eignet er sich optimal für große Prüfobjekte. Dank seiner ölfreien und berührungslos arbeitenden Vorpumpe zusammen mit der leistungsstarken Hochvakuumpumpe ist er für Prüfungen in Reinraumumgebungen ideal. Erstmals auf einer Messe wird die neue Elektroventile Series E von Pfeiffer Vacuum präsentiert: ein für die einfache Integration in Hochvakuumanwendungen entwickeltes elektrisches Eckventil. Die Series E vereint die fortschrittliche elektrische Betätigung mit Energieeffizienz. Die Ventile bietet dadurch eine hervorragende Steuerung, Zuverlässigkeit und Kosteneinsparungen.
Weiterhin wird die Turbopumpe ATH 2804 M ausgestellt. Mit ihrer geringen Baugröße bietet die magnetgelagerte Turbopumpe ATH 2804 M von Pfeiffer Vacuum einen hohen Gasdurchsatz und eignet sich perfekt für Prozesse in der Halbleiterfertigung. Die Turbopumpe HiPace 3400 IT wurde speziell für anspruchsvolle Anwendungen der Ionenimplantation entwickelt und setzt als kompakteste Turbopumpe ihrer Klasse Maßstäbe. Die Flanschgröße DN 320 erhöht das Saugvermögen für Prozessgase um 30 Prozent. Ihr einzigartiges Lagerkonzept und die beschichtete Rotor-Konstruktion schützt sowohl das Verfahren als auch die Pumpe und bietet Langlebigkeit sowie Zuverlässigkeit. Die ölfreie Pumpen TORRI BD 0100/0600 von Busch Vacuum Solutions bieten kurze Abpumpzeiten für Schleusenkammern. Sie gehören zu den kleinsten, leichtesten und energieeffizientesten ölfreien mehrstufigen Drehkolben-Vakuumpumpen auf dem Markt. Das thermische Abgasreinigungssystem CT-TW-H von Centrotherm Clean Solutions kombiniert die Vorteile der Verbrennung mit dem elektrisch beheizten Konzept der Abluftbehandlung. Dies führt zu geringeren Betriebskosten und weniger Sekundäremissionen. Besucher der Semicon West können sich vom 9. bis 11. Juli 2024 am Stand 733 in der Südhalle des Moscone Center in San Francisco mit Experten von Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum und Centrotherm Clean Solutions austauschen.